基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法

本发明公开了一种基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法，涉及光学检测领域。激光器发出的光经过准直扩束后入射至偏振分光镜；反射的光作为参考光束，透射的光作为测试光束；测试光束光入射至空间光调制器，经空间光调制器相位调制经过透镜后形成具有不同倾角的标准球面波，对不同区域划分的子孔径进行零位检测。使用空间光调制器作为理想点源阵列发生器与成像镜头配合能够针对不同的被测件参数生成所需的理想倾斜球面波，相对于传统的点源生成器而言具有很强的通用性。并且对于大口径的复杂曲面，无需移动干涉装置便能实现子孔径拼接，减少由于机械移动引入的误差。