衬底搬送装置及具备所述衬底搬送装置的衬底处理装置
申请号：CN202411580956
申请日期：2024-11-07
公开号：CN120072721A
公开日期：2025-05-30
类型：发明专利
摘要
本发明的目的在于提供一种衬底搬送装置及具备所述衬底搬送装置的衬底处理装置，能防止在搬送时对衬底产生损伤。在由第l手部(19)保持衬底(W)时，操作伺服电动机(79)使各引导件(67)移动到衬底(W)的外周面。在由触觉传感器(73)检测出各引导件(67)抵接于衬底(W)的外周面的情况下，根据衬底(W)的形状，由伺服电动机(79)调整各引导件(67)对衬底(W)的外周面的作用力。因此，能按衬底(W)的翘曲或厚度等衬底(W)的每个形状调整夹持力。结果，不管衬底(W)的形状如何，都能防止在搬送时对衬底(W)产生损伤。
技术关键词
衬底搬送装置
触觉传感器
外周面
作用力
检测器
伺服电动机
水平驱动机构
倾斜面
编码器
圆柱状
悬架
电路
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