一种陶瓷静电吸盘、其制备方法及等离子体设备

本发明公开了一种陶瓷静电吸盘、其制备方法及等离子体设备，所述陶瓷静电吸盘的制备方法包含：将陶瓷粉末、有机溶剂、分散剂球磨混合均匀，得到陶瓷混合浆料；将陶瓷混合浆料、光敏树脂单体、光引发剂高速搅拌混合均匀，得到光敏陶瓷浆料；提供一3D打印设备，利用3D打印设备中的计算机辅助软件设计一内部具有进气孔、出气孔、流道的陶瓷坯体的三维模型，根据三维模型，打印得到成型的陶瓷坯体；将成型的陶瓷坯体放置于高温烧结炉中进行烧结，得到内部具有进气孔、出气孔、流道的陶瓷垫；将陶瓷垫与铝合金基座进行组装，得到陶瓷静电吸盘。所述陶瓷垫内部具有匀气结构，避免匀气结构设于铝合金基座上所带来的气体泄漏以及金属污染的问题。