衬底搬送装置及具备其的衬底处理装置
申请号：CN202411585395
申请日期：2024-11-07
公开号：CN120072689A
公开日期：2025-05-30
类型：发明专利
摘要
本发明涉及一种衬底搬送装置及具备其的衬底处理装置。在第1传感器(22a)及第2传感器(22b)都分别检测出衬底(W)载置在第1导件(32a)及第2导件(32b)的情况下，容许推进器(35)从打开状态变为关闭状态。另一方面，在第1传感器(22a)及第2传感器(22b)中的至少任一个传感器未检测出衬底(W)的情况下，禁止推进器(35)从打开状态变为关闭状态。
技术关键词
衬底搬送装置
推进器
时间差
搬送机构
触觉传感器
托板
基准
速度
载荷
外周面
模式
单片
姿势
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