抛光终点检测方法、装置、电子设备及存储介质

本申请实施例公开了一种抛光终点检测方法、装置、电子设备及存储介质，应用于化学机械抛光设备，该化学机械抛光设备包括驱动电机及抛光盘，驱动电机用于驱动抛光盘旋转，该方法包括：在对晶圆进行化学机械抛光的过程中，采集驱动电机驱动抛光盘旋转预设圈数对应的扭矩信号；根据扭矩信号提取扭矩特征，得到扭矩特征集合；该扭矩特征集合包括扭矩信号对应的频域特征、时域特征以及时频域特征中的至少一个；通过抛光终点检测模型对扭矩特征集合进行分析，确定抛光终点检测结果，该抛光终点检测结果用于表征是否到达抛光终点，从而能够在对晶圆进行化学机械抛光的过程中，准确地识别是否到达抛光终点，提高了抛光终点检测的准确性。