一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测量校准方法

本发明提供了一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测量校准方法，利用迈克尔逊干涉原理，针对压电陶瓷控制仪精度有限、步距不定的情况进行校准。通过基于白光干涉光路结构的系统，在压电陶瓷驱动系统两侧放置平面镜，组成两套迈克尔逊干涉仪。第一侧的迈克尔逊干涉仪用于获取微小器件表面的干涉条纹，根据干涉条纹的变化关系，结合数字图像处理，精确计算出压电陶瓷步距，再利用另一侧的迈克尔逊干涉仪对压电陶瓷的步距进行校准。与无校准系统的迈克尔逊干涉仪对比，该方法能够实现对压电陶瓷步距的精准把控，获取更清晰准确的干涉图像，提高系统对微小器件表面形貌复原的能力。