一种多点光谱共焦测量方法

本发明公开了一种多点光谱共焦测量方法，包括使用一组宽带光源，通过光纤网络传输宽带光至光纤出光孔径，形成多点照射；宽带光通过色散镜头进行色散，分解为不同波长的色散光线，多组色散光线形成聚焦的多点光束照射至待测工件的不同位置；通过多通道光谱解析装置的至少3个光纤通道，接收从待测工件表面的反射光线，解析每个返回通道的光谱信号；基于至少3个测量点的光谱信号，采用多点位置之间的相对高度差异，通过三角形几何关系结合光路反射角度，计算被测工件平面的倾斜角度；整个运行过程中，无需移动测量装置，保持测量精度和稳定性，这种方法有效避免了传统方法中因移动轴引入的误差，整体提升了测量的效率和精度。