一种基于无热化马赫曾德尔干涉的传感系统及其测试方法

本发明涉及一种基于无热化马赫曾德尔干涉的传感系统，设置在传感器芯片上，且连接宽谱光源以及光谱分析仪，包括：制作在传感器芯片上的马赫曾德尔干涉结构，马赫曾德尔干涉结构设有输入光栅耦合器、50%光波导分束器、两个不同臂长的传感臂、50%光波导合束器以及输出光栅耦合器。本发明所采用的传感器芯片可以准确、直观的监测折射率变化；马赫曾德尔干涉结构的不同波导宽度的设计使传感器不受外界温度的影响，提高了传感器检测的准确性；马赫曾德尔干涉结构的两个传感臂均发挥着传感的性能，不需要额外的传感窗口，降低了制作工艺的复杂性和成本。