基于生成式网络的MEMS传感器智能设计方法及系统

本发明公开了一种基于生成式网络的MEMS传感器智能设计方法及系统，用于高效生成给定传感器性能需求下的多个可行结构，该方法包括：基于有限元仿真获取MEMS传感器实验数据；构建并训练验证网络实现由传感器结构到性能参数的正向设计；构建并训练生成式网络CVAE‑GAN实现由性能到结构参数的反向设计；构建多解生成器G‑MS模型，用于高效生成多组满足性能需求的结构参数。本发明与基于有限元仿真的MEMS传感器设计方法相比，无需进行耗时的多物理场仿真和人工调参，具有速度快、精度高及智能化的优点；与其它MEMS传感器智能设计方法相比，显著提高了给定性能需求下生成多个不同设计方案的效率与质量，有助于缩短设计周期，实现快速迭代设计。