面向通用设计场景的MEMS传感器智能设计方法及系统

本发明公开了一种面向通用设计场景的MEMS传感器智能设计方法及系统，该方法包括：基于有限元仿真获取大量MEMS传感器的“结构参数‑性能参数”数据对；构建并训练验证网络以建立从结构参数到性能参数的映射关系；将模糊范围、精确数值及无约束的三类不同设计需求量化为统一的区间表示，并使用逆向生成策略构建包含设计需求的数据集；构建并训练搜索网络实现从设计需求到可行结构的映射关系；构建精度优化器提高搜索网络输出可行解的质量。与传统智能设计模型相比，本发明模型扩展性强，无需重新训练即可支持多种设计需求类型，并具备自动迭代优化精度的能力，从而实现高精度、快速的MEMS传感器设计。