摘要
本申请提供一种二维轴系精度参数补偿方法、装置、设备及存储介质,涉及工业自动化技术领域,解决了相关技术中精度测量存在误差而难以准确测量二维轴系统的精度问题,本申请方案通过利用工业相机与特征板的相对位置,确定二维轴平台上特征板中各特征点对应的轴系坐标,以利用同一组数据确定二维轴平台的轴系精度参数,实现了便捷且自动化程度高的定位精度测量,并且通过对两个坐标轴在一维上定位精度的补偿,进而能够替代干涉仪对一维定位精度进行有效的补偿,从而有效地提升了二维轴平台的二维定位精度。
技术关键词
参数补偿方法
特征点
工业相机
电子工业设备
精度
坐标
拟合算法
平台
像素
视野
图像
直线度
工业自动化技术
补偿装置
垂直度
间距
计算机可执行指令
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