一种AMHS系统内部Stocker设备的动态气流模拟方法及装置

一种AMHS系统内部Stocker设备的动态气流模拟方法及装置，该方法通过动网格技术将流体空间网格划分结果和运动场景网格划分结果进行网格耦合，得到Stocker设备的动态仿真计算网格模型，动态仿真计算网格模型中包括Stocker流体空间几何模型中的物理对象和Stocker运动场景几何模型中的物理对象；通过简化后的动态仿真计算网格模型，对Stocker设备的指定具体工况进行流体仿真计算，得到Stocker设备的流体仿真结果；分析流体仿真结果，并基于该结果，使用DPM离散相模型模拟进一步针对性地分析Stocker设备运动时某一区域的气流对微尘颗粒的影响。本发明提供了一种能够分析Stocker设备运行时的内部气体流场规律的方法及装置，可以有效评估设备内部空间洁净度，确保最终设备满足工艺对洁净度的要求。