改善外延晶圆品质的方法、装置，及外延晶圆和其制造方法

本公开提供了一种改善外延晶圆品质的方法、装置，及外延晶圆和其制造方法。该改善外延晶圆品质的方法包括：将外延晶圆的表面缺陷的位置与外延工艺设备中的接触部件的接触位置进行匹配，获得与接触部件的接触位置相匹配的第一表面缺陷；获取第一表面缺陷的形貌和类型；根据第一表面缺陷的形貌和类型以及外延晶圆的外延层厚度，确定接触部件的改善手段以降低第一表面缺陷的数量。