评估超表面对多类型实际加工误差容忍度的数值模拟方法

本发明公开了一种评估超表面对多类型实际加工误差容忍度的数值模拟方法，属于超表面技术领域，包括：S1、对仿真软件进行初始化设置，在材料库中导入功能层和衬底材料的折射率或相对介电常数；S2、首先确定超表面结构单元的几何形状、结构线宽和其他尺寸参数，然后确定要引入的实际加工误差类型；最后对超表面结构单元进行建模；S3、建立同时引入多种类型加工误差之后的超表面仿真模型；S4、对超表面仿真模型进行数值模拟计算，运用控制变量法不断改变不同类型误差参数，对性能结果进行统计并与理想情况进行对比分析，最终确定超表面对实际加工误差的容忍度范围。本发明能够迅速且有效地评估超表面对各类实际加工误差的耐受程度。