基于物理模型的紧凑型光刻仿真系统

本发明提供基于物理模型的紧凑型光刻仿真系统，涉及光刻仿真工具与物理建模技术领域，包括模型构建模块、内核可视化模块、仿真计算模块、结果评估与优化模块、模型库管理模块、实时仿真模块、误差补偿模块、仿真结果验证模块；模型构建模块，根据光刻设备中的光刻机光源波长、相干因子、投影物镜数值孔径、像差系数，以及光刻工艺的光刻胶类型、光刻分辨率要求、光刻图形特征尺寸，构建三维光刻模型，本发明中模型构建模块基于波动光学理论与量子力学理论，全面考虑光在投影物镜中的衍射、光在光刻胶表面及内部的干涉，以及光刻胶分子微观层面的物理化学过程，相较于基础物理模型，能精准模拟光在光刻设备中的复杂传播路径。