一种TSV阵列应力求解的方法及装置

本申请公开了一种TSV阵列应力求解的方法及装置。建立TSV阵列的结构模型，并拆分为多个子集。以子集为基础进行有限元求解，基于有限单元对载荷响应的相关性，求解得到子集的应力数据。利用有限元仿真获得的数据作为输入数据，以结构模型的全场应力数据为输出数据，通过部分应力测点实现对全场应力场的实时求解。同时基于ANN建立待训练模型，以快速构建模型关系，克服有限元分析耗时、耗资源的缺点。通过反向传播算法对待训练模型进行训练，得到最优的参数。当训练结果满足预设需求时，得到全场应力求解模型，支持对TSV阵列的应力进行求解。能够应对多个TSV、TSV阵列带来的应力叠加，保证应力分析的准确度。