摘要
本发明涉及MCU芯片分选技术领域,尤其涉及一种芯片分选设备及分选方法。其包括操作箱、控制箱、输送单元、出料箱、分选箱、承载组件和分选组件;本发明首先通过出料箱自动落料。上方的分选座通过移动、升降和转动,调节其隔离片的走向至与芯片切割排布走向一致;隔离片下降至伸入晶圆上的切割缝隙。芯片在分隔和定位的状态下,被对应的检测器近距离检测,检测结果准确。最后根据检测结果,合格/不合格芯片落入对应的合格分选腔和不合格分选腔,薄膜被吸入分选盘,扎在定位针上,实现芯片的分类出料。整个芯片筛选过程智能、自动,对芯片损坏小,芯片全程位置稳定,且检测针对性强,以达到高效、精准分选的目的。
技术关键词
芯片分选设备
输送单元
承载组件
出料箱
分选箱
分选出合格
承载座
剥离薄膜
气囊袋
芯片分选方法
检测器
隔离片
不合格品
扩容设备
压力阀
MCU芯片
箱体
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