摘要
本发明涉及波长扫描式显示器检查装置。根据本发明一实施例的波长扫描式显示器检查装置包括:显示器样本,具有一个或多个层;光照射单元,向所述显示器样本照射光,使得所述光入射到所述显示器样本的表面中的二维区域;滤光轮,具有多个滤光器,用于将从所述显示器样本反射的反射光分别转换成具有相应波长的波长反射光;驱动单元,使所述滤光轮旋转;分光单元,测量所述波长反射光的光谱;以及控制单元,控制所述驱动单元以改变供所述反射光通过的所述滤光器,并基于取决于所述滤光器的改变的多个波长上的所述二维区域的光谱,确定所述一个或多个层中的每一个的厚度。
技术关键词
扫描式显示器
检查装置
波长
反射光
深度学习神经网络
样本
滤光轮
滤光器
分束器
驱动单元
控制单元
随机森林
光源
透镜
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