摘要
基于图到图神经网络非球面测量回程误差去除方法及装置,包括:搭建虚拟干涉系统、制作图到图回程误差剔除数据集、搭建图到图神经网络模型、训练图到图神经网络模型、求解实际非球面面形误差。本发明利用计算机模拟非零位补偿法的光学系统并生成数据集,完成图到图神经网络的训练,方便快捷,对于一组实际光学系统的干涉波前数据,无需任何先验知识及预处理即可消除回程误差,具有良好的普适性;使用图生图神经网络进行回程误差的剔除,保留干涉波前图和被测非球面面形分布中的高频信息,检测精度更高;在求解中,本身不存在固有的系统误差且求解精度不依赖系统的建模精度,避免复杂的装调和校准过程,实现快速且高精度的非球面面形误差测量。
技术关键词
非球面
面形误差
神经网络模型
干涉系统
消除回程误差
干涉仪
图像生成网络
仿真软件
光学系统
生成数据集
依赖系统
多项式
系统误差
分辨率
模块
精度
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