用于将气体中的杂质除去的气体精制系统

本发明的课题是提供将气体中的微量杂质除去的气体精制系统。解决手段是气体精制系统1具备：系统单元11，上述系统单元11具备：具有储存容器的气体源单元111、从气体除去残留溶剂的净化器单元113、和控制该净化器单元113中的净化的动作的精制单元112；评价单元13，上述评价单元13由系统参数1100、系统监视数据1200、和用户参数1300中的1种以上数据，通过规则库的评价条件和/或机器学习模型131来评价至少净化器单元113的状态；以及控制单元15，上述控制单元15具备净化器控制单元152，上述净化器控制单元152基于通过评价单元13而评价了的数据来控制净化器单元113。