一种减小真空泄露的系统、方法及存储介质

本发明公开了一种减小真空泄露的系统、方法及存储介质，该方法包括如下步骤：S1：pin针系统接收晶圆，并开始下降；S2：位置检测系统判断晶圆与载置台之间的距离是否满足要求；S3：若距离满足要求，则打开载置台上的真空吸附孔；若不满足要求，返回第二步，直至二者之间的距离满足要求；S4：载置台接收晶圆，进行工艺处理。本方案通过延迟打开真空吸附孔，使得晶圆与载置台台面的距离较小，避免真空吸附孔直接与大气连通，从而解决真空泄露的问题。避免了与此工艺单元共用同一真空发生装置的工艺单元吸附力减弱，造成晶圆位置的偏移甚至飞片的问题。