一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统

本发明提供一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统，涉及缺陷检测技术领域，所述方法流程为：首先基于检测图像和模板图像获取差分图像；然后基于差分图像对检测图像和模板图像进行灰度值提取，并且根据灰度值提取结果计算缺陷区域的穿透率；再对检测图像进行线路分割处理，并且基于差分图像对线路分割图像进行相交定位，以获取交集区域图像；再对差分图像和交集区域图像进行几何运算，以得到缺陷宽度和线路宽度，并且基于缺陷宽度和线路宽度计算缺陷区域的覆盖比率；最后根据缺陷区域的穿透率和覆盖比率对缺陷严重程度进行综合判定。解决了现有晶圆外观缺陷检测无法对缺陷影响程度进行度量，容易出现过检的问题。