摘要
本发明提供了一种LED发光阵列结构的制作方法、结构及发光模组,在生长衬底的一表面上加工多个阵列分布的LED发光单元;LED发光单元包括沿深度方向依次分布的N型结构、量子阱、P型结构,在生长衬底的表面上加工金属凸点;其位于相邻两个或四个LED发光单元之间;沿深度方向,在N型结构之间的生长衬底上依次加工介质层、金属互连层;金属互连层与金属凸点相接触;去除介质层,形成空气层;在P型结构的远离N型结构的一侧加工P接触层;在金属互连层上加工绝缘层;移除生长衬底,在该位置键合第一临时衬底。本发明的技术方案,将生长衬底移除,出光效果、散热效果更好;N型结构之间金属凸点的设计,使得金属互连层不容易断裂。
技术关键词
LED发光单元
LED发光阵列
金属互连层
空气层
空气桥
发光模组
阶梯结构
凸点
台阶结构
欧姆接触层
生长衬底移除
驱动芯片
正电极
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特性研究方法
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周期阵列结构
弯曲边界
分辨率
人体关键部位
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空气层
高压LED芯片
透明导电层
电极
LED发光单元
电流阻挡层