一种晶圆缺陷自动检测装置及方法

本发明提供了一种晶圆缺陷自动检测装置，包括片盒加载单元、晶圆移动单元、缺陷检测单元和数据处理单元，片盒加载单元用于控制片盒仓门的开闭，晶圆移动单元包括机械臂，用于控制晶圆移动，缺陷检测单元包括边缘检测单元和表面检测单元，边缘检测单元包括共用载台、寻边模块和检测模块，共用载台设有固定夹具，寻边模块包括寻边传感器，检测模块包括第一检测模块、第二检测模块和第三检测模块，第一检测模块用于晶圆边缘凹槽区域缺陷检测，第二检测模块用于晶圆边缘倒角区域的缺陷检测，第三检测模块用于晶圆边缘向内预设区域的缺陷检测，数据处理单元与片盒加载单元、晶圆移动单元、缺陷检测单元相连接。本申请还公开一种晶圆缺陷自动检测方法。