一种半导体静电吸盘用自动打磨设备及其打磨方法

本发明公开了一种半导体静电吸盘用自动打磨设备及其打磨方法。一种半导体静电吸盘用自动打磨设备，包括一旋转台，旋转台装设在一水槽中，旋转台的高度低于水槽的边缘；还包括一用于固定静电吸盘的固定治具，固定治具可拆卸安装在旋转台上；还包括一抛光机器人，抛光机器人的安装底座位于水槽的外围，抛光机器人的末端法兰安装有力位补偿器，力位补偿器通过魔术贴结构与磨片相连，磨片的一侧设置有与魔术贴结构相匹配的魔术粘；还包括一磨片自动供给机构及废旧磨片自动揭取机构；废旧磨片自动揭取机构用于夹取磨片以及松开将磨片置入废片槽，废旧磨片自动揭取机构的下方设置有废片槽。本发明实现了静电吸盘的自动化研磨。