摘要
公开了半导体芯片、制造半导体芯片的方法和包括半导体芯片的半导体封装件。所述半导体芯片包括:半导体基底,具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;互连结构,设置在半导体基底的第二表面上;多个导电图案,与半导体基底分开,并且各自连接到互连结构,互连结构在所述多个导电图案与半导体基底之间;补偿图案,在水平方向上在互连结构上与所述多个导电图案分开,并且与所述多个导电图案远离半导体基底的第二表面相比,补偿图案更远离半导体基底的第二表面;以及绝缘间隔件,安置在所述多个导电图案与补偿图案之间。
技术关键词
导电图案
半导体基底
半导体芯片
互连结构
介电层
半导体封装件
间隔件
绝缘
平面图
互连线
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