一种溅射机靶材消耗深度的测量装置

本发明提供一种溅射机靶材消耗深度的测量装置，应用于靶材检测技术领域，包括测量装置、标记装置和移动板，移动板上卡接有用于装载工件的载板；测量装置包括辅助板、测量杆和测距机构，测量杆插接于辅助板上，由限位板限位；测量装置处于初始状态时，每个测量杆与测距机构的距离相同，当载板带动工件向上移动至将测量杆顶起时，测距机构测量测量杆到测距机构的距离以实现工件表面消耗深度的测量；标记装置用于将测量装置测量的结果标记于工件的表面。通过多个测量杆的距离变化突出反映工件表面的凹凸状态，并通过测距机构测量的准确数据得到靶材表面消耗最深的位置，通过标记装置进行标记便于工作人员确定最终位置。