一种键合金丝键合工装质量检测的方法及系统

本发明涉及键合工装技术领域，具体为一种键合金丝键合工装质量检测的方法及系统，检测的方法包括配合尺寸检测、弹性检测、粗糙度检测、强度和硬度检测；配合尺寸检测：采用三坐标测量仪测量键合工装中目标零件的原始间距数据，使用标记解析算法和语义映射算法将原始间距数据转化为目标间距数据；弹性检测：通过弹性模量计算出键合工装中弹性零件尺寸；强度和硬度检测：通过强度和硬度测试获取多个测试点的强度和硬度，计算强度和硬度的标准差。本发明运用弹性、强度和硬度检测数据间接获得物体的尺寸和平整度，结合配合尺寸检测，拓宽了键合工装质量检测的范围，提高检测精度和效率，确保键合工装的可靠性和稳定性。