一种基于红外吸收光谱技术的免校准气体传感芯片

本发明公开一种基于红外吸收光谱技术的免校准气体传感芯片，包括片上激光光源、传输波导、片上光开关、气体传感波导阵列和片上光探测器；片上激光光源设置在传输波导的光输入端；片上光开关设置在传输波导与气体传感波导阵列之间；气体传感波导阵列由结构参数不同的一系列波导组成，波导中的光通过倏逝场与环境气体接触；片上光探测器设置在所述气体传感波导阵列的光输出端，用于接收光信号并转化为电信号，通过电信号反演推算气体浓度并调控片上光开关的开关情况。该气体传感芯片具有高精度、自校准等气体浓度测量优势，为实现小型化气体传感器的应用奠定基础。