键合装置、键合方法及存储介质

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键合装置、键合方法及存储介质
申请号:CN202411675620
申请日期:2024-11-21
公开号:CN119581344A
公开日期:2025-03-07
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种键合装置、一种键合方法及一种计算机可读存储介质。所述键合装置包括芯片拾取组件及芯片键合组件。所述芯片拾取组件包括第一本体和第一旋转电机。所述第一本体上设置有多个拾取头。各所述拾取头对芯片的第一吸附面都位于同一平面,并均朝向相同的第一方向。所述第一旋转电机连接所述第一本体,用于将所述多个拾取头逐一旋转切换到预设的拾取工位来逐一拾取对应的芯片。所述芯片键合组件位于所述芯片拾取组件的第一方向,并包括第二本体。所述第二本体上设置有多个键合头。各所述键合头对所述芯片的第二吸附面都位于同一平面,并均朝向所述芯片拾取组件所在的第二方向,以分别从各所述拾取头的第一吸附面同时获取对应的芯片。
技术关键词
拾取组件 芯片 键合装置 晶圆卡盘 旋转电机 键合方法 工位 调平模块 通气槽 升降模组 旋转单元 滑环装置 翻转模组 可读存储介质 进气口 横移模组 计算机 密封圈 空腔
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