一种基于生热模型的抛光机冷却结构多目标优化方法

本发明公开了一种基于生热模型的抛光机冷却结构多目标优化方法，包括：建立抛光盘面径向方向上离散点温度方差计算模型，以及抛光盘的水道体积计算模型，以抛光盘各水道宽度的取值范围、各水道间隔宽度的取值范围、水道个数的取值范围、冷却水道内间隔宽度的取值范围、冷却水道外间隔宽度的取值范围和水道深度取值范围作为约束条件；以抛光盘面径向方向上离散点温度方差最小、抛光盘的水道体积最大以及抛光盘厚度最大作为优化目标，对抛光盘水道宽度、水道深度、冷却水道内间隔宽度、冷却水道外间隔宽度、各水道间隔宽度、抛光盘厚度及水道个数进行优化；以优化得到的最优解作为抛光盘冷却水道结构参数。