用于测试半导体器件的探针卡

本申请涉及用于测试半导体器件的探针卡。本发明涉及一种安装在用于测量形成在半导体基板上的半导体芯片的电特性的测试器装置中的探针卡。用于测试半导体器件的电特性的探针卡包括：板形支撑体；电路板，其位于支撑体的外侧；第一探针部分，其电连接到电路板并且与半导体器件的第一位置接触；第二探针部分，其电连接到电路板并且与半导体器件的第二位置接触；第一支撑部分，其支撑第一探针部分并且在中心侧具有第一空间部分；以及第二支撑部分，其位于第一支撑部分上，支撑第二探针部分，并且在中心侧具有第二空间部分。