摘要
本申请涉及半导体制造技术领域,提供了功率场效应管的使用寿命测试方法及系统。该方法包括:在数据库中获取待测功率场效应管的测试环境参数信息;所述测试环境参数信息包括多个环境参数集;针对各个所述环境参数集,在所述环境参数集对应的测试环境中对所述待测功率场效应管进行电学性能测试,得到所述环境参数集对应的电学性能参数信息;基于预设的缺陷预测算法和各个所述电学性能参数信息对所述待测功率场效应管进行缺陷预测,得到缺陷预测信息;基于所述缺陷预测信息对所述功率场效应管的使用寿命进行预测。该方法提高了寿命测试结果的准确性。
技术关键词
功率场效应管
电学性能参数
缺陷预测
电压
电阻
测试方法
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关系
电流
算法
测试模块
半导体
寿命
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