一种抛光垫沟槽的检测方法及系统

本发明涉及图像分析技术领域，具体涉及一种抛光垫沟槽的检测方法及系统。该方法包括：获取抛光垫灰度图像的连通域，进行骨架线分割，并根据最小外接矩形以及面积特征，筛选得到目标沟槽区域；根据与正常区域的面积差异，将目标沟槽区域划分为沟槽缺陷区域和正常区域；根据与正常区域的灰度差异，确定灰度差异指标；对每个沟槽缺陷区域进行圆拟合得到拟合圆，根据每一沟槽缺陷区域与拟合圆的形态确定离散指标；结合灰度差异指标和离散指标，确定小孔可能性，根据小孔可能性筛选小孔区域和异常沟槽区域。本发明能够准确识别小孔区域和异常沟槽，提升抛光垫沟槽检测的准确性与可靠性。