摘要
本公开提出一种超高耐压数字隔离器及封装结构、制造方法,属于隔离器封装技术领域。超高耐压数字隔离器包括:石英晶圆衬底;第一数字隔离芯片和第二数字隔离芯片,第一耦合传输单元和第二耦合传输单元构成耦合传输结构;第一互连结构和第二互连结构,绝缘层。第一耦合传输单元、第一数字隔离芯片,第一互连结构形成第一电源域区域,第二耦合传输单元、第二数字隔离芯片,第二互连结构形成第二电源域区域,第一电源域区域和第二电源域区域之间形成高压隔离栅。通过晶圆重构技术,采用石英玻璃作为晶圆衬底,耐压能力显著提升,达到50000V以上,且在满足超高耐压的前提下,相较于绕组变压器,大幅缩小产品体积和重量,实现终端产品的小型化、轻量化。
技术关键词
数字隔离芯片
互连结构
传输单元
晶圆衬底
隔离器
耐压
石英
封装结构
传输结构
封装基板
隔离栅
缩小产品体积
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