光学模型的模型参数优化方法、设备、存储介质及产品

本申请公开了一种光学模型的模型参数优化方法、设备、存储介质及产品，方法包括：基于光学模型的预设模型参数构建待测试的图形对应的版图文件；基于版图文件执行光学临近校正和光刻规则检查，得到对应的检查结果；在检查结果不满足检测通过条件的情况下，根据检查结果对光学模型的模型参数进行调整，得到调整后的模型参数；利用调整后的模型参数构建待测试的图形对应的版图文件，并返回执行基于版图文件执行光学临近校正和光刻规则检查，直至检查结果满足检测通过条件。本申请能够基于OPC和LRC的检查结果对模型参数进行迭代优化，改善了光学模型适配调整后的版图在OPC过程中难以校正优化的问题，提升了版图调整效率、流片效率和良率。