基于矩形套管三维聚焦的单细胞光电检测芯片及其制备方法

本发明公开了基于矩形套管三维聚焦的单细胞光电检测芯片及其制备方法，属于单细胞检测技术领域，包括：步骤1、形成掩膜；步骤2、腐蚀出对准标记；步骤3、旋涂光刻胶，前烘、泛曝光、后烘、坚膜；步骤4、旋涂光刻胶，前烘、曝光、后烘，不显影，冷却后接着旋涂光刻胶，前烘、曝光、后烘、显影，坚膜后形成微流控模具；步骤5、聚二甲基硅氧烷聚合物的预聚体和固化剂混合、真空脱气后浇筑在模具上；步骤6、将两片结构参数一样的PDMS进行对准键合，此后再与石英衬底键合。本发明能够同时进行高灵敏的电学检测与高分辨的图像检测，解决了3D打印制作的三维聚焦通道带来的成像模糊的问题，并且提高了制造效率，降低制造成本。