日志分析系统

本发明涉及半导体设备领域，具体提供一种日志分析系统，旨在解决半导体机台异常事件无法提前预警的问题。为此目的，本发明的日志分析系统包括数据采集模块、数据处理模块、模型构建模块、模型训练模块以及检测预警模块；其中所述模型构建模块被配置为基于事件序列内所有事件的发生时间及语义相似性，对所述事件序列内所有事件发生的可能性构建事件迁移网络模型；所述模型训练模块被配置为基于所述事件数据对所述事件迁移网络模型进行参数训练，寻找使所有事件发生的可能性最大化的参数集合。能够达到在告警事件发生前提前预警的目的，有效提高设备的运行效率，减少停机时间，优化生产流程，减少半导体机台故障的发生。