基板搬送装置以及具有该基板搬送装置的基板处理装置

本申请提供一种能够抑制因搬送时的位置修正引起的生产能力下降的基板搬送装置。在利用第一手部(33)保持基板(W)时，利用所有引导部(67)把持基板的外周面，基于在该时间点得到的位置信息，算出保持的基板的中心位置来作为当前中心位置(CPN)。控制部算出事先设定的第一手部上的基板的基准中心位置(CPR)与当前中心位置的差值(DF)。在交接基板W时，根据差值来操作水平驱动机构(57)，修正使第一手部进出的位置。因此，在利用第一手部保持了基板的时间点，能够算出在基板交接时位置的修正所需的差值。其结果为，能够因搬送时的位置修正引起的生产能力下降。