芯片检测系统及检测方法

本发明公开了芯片检测系统及检测方法，所述芯片检测系统包括，光学检测模块，以完成GPU芯片物理结构和表面缺陷检测；扫描电子显微镜模块，以完成GPU芯片微观结构分析；功能性检测模块，以完成GPU芯片基本功能和性能指标检测；数据分析处理模块，信号输入端分别与光学检测模块、扫描电子显微镜模块和功能性检测模块的信号输出端相连，以完成对检测数据进行统计分析和报告生成；自动化检测。该芯片检测系统及检测方法系统集成了自动化功能，提高了检测速度，减少人工干预，降低人为错误。