一种对线处理装置
申请号：CN202411720938
申请日期：2024-11-28
公开号：CN119283213A
公开日期：2025-01-10
类型：发明专利
摘要
本发明提供了一种对线处理装置，属于半导体技术领域。包括：本体；第一驱动机构(1)，安装所述本体上；拨片机构(2)，与所述第一驱动机构(1)相连接，所述拨片机构(2)上设置有多个梳齿片(2001)；其中，所述第一驱动机构(1)用于驱动所述拨片机构(2)向待处理硅棒(3)运动，使得所述拨片机构(2)上的梳齿片(2001)插入所述待处理硅棒(3)上被切割形成的缝隙(301)中，以清除所述缝隙(301)中的杂质。本发明的技术方案，能够在硅棒在切割断线后准确对线。
技术关键词
拨片机构
梳齿片
硅棒
驱动组件
丝杆
机械臂
运动
运输机构
电机
通孔
载台
缝隙
基板
断线
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