兼顾面形误差和位姿误差的光学系统成像质量预测模型构建方法

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兼顾面形误差和位姿误差的光学系统成像质量预测模型构建方法
申请号:CN202411722252
申请日期:2024-11-28
公开号:CN119670475A
公开日期:2025-03-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及光学系统成像领域,具体为一种兼顾面形误差和位姿误差的光学系统成像质量预测模型构建方法采用Zernike多项式对螺栓预紧力导致的镜面面形误差进行精确拟合,采用有限元方式的光学系统螺栓拧紧过程进行仿真,据此提出两反光学系统装配与成像的联合仿真方法,以Zernike多项式拟合作为基础参数,在采用Zemax进行光路成像仿真时充分考虑各种镜面面形误差和装配位姿偏差,并以能量集中度作为成像质量定量评价指标,建立包含局部和全局混合核函数的SVR代理模型,对镜面面形和装配位姿参数进行敏感性分析,通过装配与成像联合仿真获得装配数据集,并对模型进行训练得到成像质量预测模型,用以实现成像质量快速、准确的预测。
技术关键词
预测模型构建方法 光学系统 镜面 混合核函数 集中度 成像 螺纹轮廓 螺纹横截面 光学元件面形误差 横截面轮廓 联合仿真方法 坐标变换方法 定量评价指标 参数 偏差 网格划分方法 多项式核函数
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