基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元

本发明公开了一种基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元，包括：CPU，用于任务的调度、计算资源的管理、控制逻辑的实现；NPU，用于运行晶圆缺陷检测神经网络算法，完成晶圆缺陷检测；所述晶圆缺陷检测神经网络算法包括激活函数，优化激活函数运算，使用帕德逼近算法拟合，进一步拟合激活函数；存储阵列，用于完成晶圆图像数据的存储和训练数据的存储；图像采集卡，用于高速接收成像设备对晶圆表面成像的数据，并将图像数据通过数据总线向中央处理器和神经网络处理单元进行传递。以ARM CPU和NPU的混合硬件结构为基础，通过引入帕德逼近算法改进网络的精度和计算效率，有效提高晶圆缺陷检测的精度和速度。