高可靠性的小型化MEMS汽车压力传感器

本发明提供了一种高可靠性的小型化MEMS汽车压力传感器，属于压力传感器技术领域，包括烧结壳体、电路单元、保护结构和壳盖；电路单元包括电路基板和陶瓷压力芯体，保护结构包括保护帽和防护胶层，保护帽套设在陶瓷压力芯体的外侧并与电路基板连接，保护帽与陶瓷压力芯体的检测端之间具有填充胶层；防护胶层覆盖在电路基板上，防护胶层的端面贴合于保护帽的上部。本发明提供的高可靠性的小型化MEMS汽车压力传感器，实现了对电路基板和陶瓷压力芯体的防护，使待测流体仅与陶瓷压力芯体的检测端接触，提高了压力传感器的可靠性和耐久性，使压力传感器更适用于高温高湿高腐蚀性的工作环境。