蚀刻补偿方法、蚀刻补偿系统及深度学习系统

本发明提出一种蚀刻补偿方法、蚀刻补偿系统及深度学习系统，所述的蚀刻补偿方法包括：拍摄经一蚀刻处理的一工件，以获得一工件图像；根据工件图像量测工件，以获得工件的一线路量测信息；根据线路量测信息，生成一蚀刻补偿信息；以及传送该蚀刻补偿信息至一曝光装置或一蚀刻装置。本发明可以在蚀刻处理后，进行工件全版及全面性的量测，进而通过全自动快速补偿值设定、全自动生产中间监控以及即时回馈调整的功能，达到快速进入量产、快速达到最佳补偿值设定、智慧生产中监控以及提升及稳定品质的效果。