一种C型聚对二甲苯膜的成膜厚度控制方法

本发明公开了一种C型聚对二甲苯膜的成膜厚度控制方法，包括如下步骤：S1、制备多片聚酯薄膜衬底；S2、将聚酯薄膜衬底制备得到对二甲苯Parylene C薄膜厚度控制标准样；S3、测量对二甲苯Parylene C薄膜厚度控制标准样的厚度；S4、将对二甲苯Parylene C薄膜厚度控制标准样分别置于沉积旋转工装的上层、中层和下层，每层分别根据对二甲苯Parylene C薄膜厚度、位置，以及二聚体加载量数据进行计算并建立模型，得到厚度控制模型；S5、根据每层的厚度控制模型对对二甲苯Parylene C薄膜的厚度进行把控；其能够解决现目前针对C型聚对二甲苯膜的厚度控制难度较大的技术问题。