基于GAN和自适应反馈机制的晶圆膜厚度计算方法及装置

本申请公开了一种基于GAN和自适应反馈机制的晶圆膜厚度计算方法及装置，属于半导体制造领域。本申请实施例提供了一种基于GAN和自适应反馈机制的晶圆膜厚度计算方法，通过GAN扩展数据集，模型能够适应更多样化的光谱数据，特别是膜厚度范围广泛的情况。自适应反馈机制进一步提升了模型对特殊光谱数据的学习能力。此外，虚拟数据和反馈机制使得模型能够对异常数据做出响应，动态优化模型，从而提高在不同膜厚度范围和光谱条件下的预测稳定性。通过结合深度学习算法，最终膜厚度值得到了进一步校准，确保预测结果的精确性和物理合理性。基于GAN和自适应反馈机制的晶圆膜厚度计算方法能够实现高精度、高鲁棒性的膜厚度预测，适应多种不同的实际应用场景。