一种KLA扫描设备发送载台

本申请涉及晶圆表面缺陷检测技术领域，公开了一种KLA扫描设备发送载台，包括操作台，所述操作台上安装有三个固定座、机械臂和扫描仪，所述扫描仪位于机械臂的左侧，三个所述固定座分别位于机械臂的前后两侧及右侧，所述固定座上设置有片盒；还包括烘干装置，用于对晶圆进行烘干；干燥装置，用于保持烘干装置内部的干燥度。通过三个固定座、三个片盒、机械臂和扫描仪的配合，实现了以片盒为批次循环进行检测的效果，在检测过程中，清洗完的晶圆不需要再从片盒中转运到PP包装盒中，简化了操作步骤，并且避免清洗完的晶圆在检测之前接触外界空气而附着灰尘，提升了整体的工作效率。