一种晶圆移动方法及晶圆存储库

本申请提供一种晶圆移动方法及晶圆存储库，涉及半导体技术领域。本申请创造性地在晶圆存储库中设置晶圆片移动机构以及晶圆盒移动机构，从而通过一个晶圆存储库实现晶圆盒与晶圆片的移动，可以直接提供后续加工单元需要的对象无需设置额外的取放设备，提高了晶圆制备系统中设备的集成度，降低了晶圆制备系统的空间占用。而在具体移动时，可以根据实际需要调用对应的执行机构即可，不同类型的移动对象具有相似的移动过程，简化了移动时的控制逻辑，也避免不同移动机构在作业时的互相干扰，保证工作稳定性。