一种晶圆夹持模组

本申请提供一种晶圆夹持模组，包括底座、以及均匀间隔设置于底座上的第一夹持机构和第二夹持机构，第一夹持机构和第二夹持机构均包括夹持钩爪和驱动气缸，驱动气缸的驱动端与夹持钩爪的机械臂连接，以驱动夹持钩爪沿预定方向运动；第一夹持机构还设置有定位部，夹取晶圆时，第一夹持机构的夹持钩爪移动至定位部及其爪部夹持到晶圆的时间小于第二夹持机构的夹持钩爪移动及其爪部夹紧晶圆的时间，由此，第一夹持机构优先到达晶圆的边缘并作为定位点，第二夹持机构随后运动至晶圆边缘，有效提高晶圆的夹持精度；同时第一夹持机构的夹持钩爪夹紧晶圆的力大于第二夹持机构的夹持钩爪夹紧晶圆的力，保证晶圆不发生变形，进一步提高晶圆的夹持精度。